Kirjeldus
Kirjeldus
MOCVD Graphite Susceptor on metalli{0}}orgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) süsteemide kriitiline komponent. See toimib kõrge temperatuuriga, soojust juhtiva platvormina, mis on loodud pooljuhtsubstraatide turvaliseks hoidmiseks ja ühtlaseks soojendamiseks õhukeste kilede epitaksiaalse kasvu ajal.
pakkimine ja kohaletoimetamine
Puidust kasti pakett
funktsiooni
- Suurepärane soojusjuhtivus kiireks ja ühtlaseks soojusülekandeks
- Kõrge mehaaniline tugevus ja mõõtmete stabiilsus ekstreemsetes tingimustes
- Sile, täpselt töödeldud pind stabiilseks aluspinna paigaldamiseks
- Mõeldud mõjutama gaasivoolu dünaamikat ja termilisi gradiente
eelis
- Tagab epi{0}}kihi ühtlase kilepaksuse ja suurepärase kristallikvaliteedi
- Võimaldab protsessi kõrget korratavust ja saagist stabiilse substraadi temperatuuri reguleerimise kaudu
- Pikendab kasutusiga ja vähendab korrosioonikindlusest tingitud osakeste saastumist
- Säilitab konstruktsiooni terviklikkuse vaatamata korduvatele termotsüklitele, tagades protsessi töökindluse
rakendus
- Kasutatakse peamiselt MOCVD reaktorites liitpooljuhtkihtide (nt GaN, GaAs, InP) epitaksiaalseks kasvatamiseks substraatidel nagu räni, ränikarbiid või safiir.
- Hädavajalik optoelektrooniliste seadmete (LED-id, laserdioodid) ja raadio{0}}sageduslike (RF) võimsuspooljuhtide tootmiseks.
Kuum tags: grafiidisusseptor, Hiina grafiidisusseptori tootjad, tarnijad, tehas